ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。
闭环回收带来的不仅是环保效益:
供应链:降低对原生铟矿进口依赖,抵御价格波动风险。
显著降本:再生铟成本可低于原生铟30%以上,靶材企业毛利率提升。
品牌增值:满足苹果、三星等巨头对再生材料比例的硬性要求。
技术壁垒:分离提纯工艺构成核心竞争力。
ITO靶材的基本介绍:
主要成分:氧化铟(In2O3)和氧化锡(SnO2)
应用领域:液晶显示、OLED、太阳能电池、触摸屏等
靶材类型:新靶材、废靶材(使用后剩余靶材)
ITO靶材回收流程:
1. 收集废靶材:收集来源:面板厂、镀膜厂等使用ITO靶材的企业。
2. 表面处理/预处理 :清洗表面杂质、油污、物理去除残留膜层
3. 靶材分离:机械切割或分解、分离金属基板与ITO涂层
4. 湿法冶金回收:用酸(如硝酸、盐酸等)溶解ITO层、萃取液中回收铟和锡元素
5. 纯化与精炼 萃取、沉淀等精细化学手段,获得高纯度的铟、锡化合物
6. 再利用 提纯后的铟、锡用于制备新ITO靶材或其他用途