铟靶是指以铟为主要成分的溅射靶材,是一种在材料表面镀膜过程中用于提供铟源的材料。在真空溅射镀膜工艺中,铟靶材在高能粒子的轰击下,铟原子被溅射出来并沉积在基底材料表面,形成所需的铟薄膜。
良好的机械和热学特性:硬度较高,在研磨、抛光过程中不易被划伤,保证了薄膜表面的平整性;同时能够承受较高的温度而不发生分解或结构破坏,在高温环境中的抗裂性和耐用性良好,确保了薄膜在溅射和高温条件下的稳定性。
热等静压(HIP)工艺:在高温和高压环境下进行烧结,能够显著提高材料的致密度,减少材料中的孔隙,改善材料的微观结构,使得 ITO 靶材具有更高的电导率和机械强度,但该工艺成本较为昂贵。
光伏技术领域:在太阳能电池中,ITO 薄膜作为前电极材料,具有高透明性,能够保证光线有效进入吸收层,从而提升光电转换效率,适用于 CIGS、CdTe 等薄膜太阳能电池技术。
其他领域:在智能窗、透明发热膜、红外反射膜等领域也有应用,满足智能建筑和汽车工业中的透明导电需求。