硅片回收后的清洗方式：化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗（硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等）和等离子体法等。其中双氧水体系清洗方法效果好，环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的络合作用，许多金属离子形成稳定的可溶性络合物而溶于水；然后使用成分比为H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液，由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解，以及氯离子的络合性，许多金属生成溶于水的络离子，从而达到清洗的目的。

放射示踪原子分析和质谱分析表明，采用双氧水体系清洗硅片效果，同时所用的全部化学试剂 H2O2、NH4OH、HCl能够完全挥发掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片时，在硅片表面会留下约2×1010原子每平方厘米的硫原子，用后一种酸性清洗液时可以完全被清除。用H2O2体系清洗硅片无残留物，有害性小，也有利于工人健康和环境保护。硅片清洗中用各步清洗液处理后，硅片回收后都要用超纯水彻底冲洗。

优等品

1：硅片表面光滑洁净。

2：TV：220±20μm。

3：几何尺寸： 边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm； 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。

合格品

一级品：

1：表面有少许污渍、轻微线痕。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：几何尺寸： 边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm； 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5。

硅片三级品：

1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

硅片不合格品：

严重线痕、厚薄片：TV＞220±60μm。

崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。

气孔片：硅片中间有穿孔 。

外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。

倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意两边的夹角>90°±0.8。

凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30μm。

脏 片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。

电池片一般分为单晶硅、多晶硅、和非晶硅（单晶硅电池片和多晶硅电池片的区别）。单晶硅太阳能电池是当前开发得快的一种太阳能电池，它的构造和生产工艺已定型，产品已广泛用于空间和地面。这种太阳能电池以高纯的单晶硅棒为原料。

为了降低生产成本，现在地面应用的太阳能电池等采用太阳能级的单晶硅棒，材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料，经过复拉制成太阳能电池专用的单晶硅棒。